Ей там! Като доставчик на лазерни машини за DE-CAP имах своя справедлив дял от въпроси от клиентите. Един въпрос, който продължава да изскача, е: "Как дължината на вълната на лазера в лазерна машина за де-капачка влияе на процеса на деконтиране?" Е, нека се потопим право в него.
Първо, нека разберем за какво става въпрос за лазерно де-калъп. Лазерното де-покриване е решаващ процес в полупроводниковата индустрия. Използва се за премахване на материала за капсулиране от устройства за полупроводници, което позволява на инженерите да имат достъп до вътрешните компоненти за проверка, анализ на отказ или модификация. И дължината на лазерната вълна играе огромна роля за това колко добре работи този процес.
Различните дължини на вълните на лазерите взаимодействат с материали по различни начини. Виждате ли, материалите имат това, което наричаме спектри на абсорбция. Това е основно графика, която показва колко голяма дължина на вълната на светлината абсорбира материал. Когато дължината на вълната на лазера съвпада с пика на абсорбция на материала за капсулиране, материалът може да абсорбира по -ефективно лазерната енергия.
Нека разгледаме някои общи лазерни дължини на вълната, използвани в лазерните машини за DE-CAP. Една от най -популярните е дължината на вълната 1064 nm. Лазерите с тази дължина на вълната често се използват, защото те са сравнително лесни за генериране и могат да бъдат доста мощни. Дължината на вълната 1064 nm е в близост до инфрачервената област. Много материали за капсулиране, като епоксидни смоли, имат известна абсорбция при тази дължина на вълната. Когато лазерът удари материала за капсулиране, енергията се абсорбира, което води до бързо нагряването на материала. Това бързо отопление води до изпаряването на материала или преодоляване, което е това, което искаме за де-калъп.
Дължината на вълната 1064 nm обаче не е идеална за всяка ситуация. Някои материали може да не абсорбират тази дължина на вълната много добре. В тези случаи може да се наложи да използваме различна дължина на вълната. Например, дължината на вълната от 532 nm също често се използва. Това е зелен лазер и е в спектъра на видимата светлина. Някои материали имат по -добра абсорбция при 532 nm, отколкото при 1064 nm. Така че, използвайки 532 nm лазер, можем да постигнем по-ефективно де-покритие за тези специфични материали.
Друга дължина на вълната, която набира популярност, е дължината на вълната 355 nm. Това е в ултравиолетовия регион. Ултравиолетовите лазери могат да бъдат много ефективни за дефиниране, тъй като много материали имат силна абсорбция в обхвата на UV. Енергията на UV фотоните е по -висока от тази на инфрачервените или видимите фотони. Това означава, че UV лазерът може по -лесно да наруши химическите връзки в материала за капсулиране. В резултат на това процесът на дефиниране може да бъде по-бърз и по-прецизен.
Но не става въпрос само за усвояването на материала за капсулиране. Също така трябва да разгледаме ефекта на лазера върху вътрешните компоненти на полупроводниковото устройство. Различните дължини на вълната могат да проникнат в материала за капсулиране до различни дълбочини. Например, инфрачервените лазери като 1064 nm лазер са склонни да проникват по -дълбоко от UV лазерите. Това може да е проблем, ако не сме внимателни. Ако лазерът проникне твърде дълбоко, това може да повреди вътрешните компоненти на устройството.
От друга страна, UV лазерите като 355 nm лазер имат по -плитка дълбочина на проникване. Това ги прави по -добър избор, когато трябва да бъдем много прецизни и да избягваме да повредим вътрешните компоненти. Поради по -плитката си проникване, те може да изискват повече пропуски над една и съща зона, за да се премахнат напълно материала за капсулиране.
И така, как да изберем правилната дължина на вълната за конкретна работа за деконтриране? Е, зависи от няколко фактора. Първо, трябва да знаем вида на материала за капсулиране. Различните материали имат различни спектри на абсорбция, както споменах по -рано. Можем да използваме техники за спектроскопия, за да анализираме материала и да определим коя дължина на вълната ще бъде най -ефективна.
Второ, трябва да разгледаме структурата на полупроводниковото устройство. Ако устройството има чувствителни вътрешни компоненти, близки до повърхността, може да искаме да използваме дължина на вълната с по -малка дълбочина на проникване, като UV лазер. Ако вътрешните компоненти са по -защитени, може да имаме по -голяма гъвкавост при избора на дължината на вълната.
В нашата компания предлагаме редицаПолупроводникова лазерна машина за декапс различни лазерни дължини на вълните, за да отговорят на разнообразните нужди на нашите клиенти. Нашите машини са проектирани така, че да са много адаптивни, така че можем да коригираме лазерните параметри, включително дължината на вълната, за да оптимизираме процеса на деколизиране за всяко конкретно приложение.
В допълнение към дължината на вълната, има и други фактори, които могат да повлияят на процеса на деконтиране. Силата на лазера е една от тях. Лазерите с по -висока мощност могат да премахнат по -бързо материала за капсулиране, но те също увеличават риска от повреди на устройството. Така че, трябва да намерим правилния баланс между мощността и прецизността.
Продължителността на пулса на лазера е друг важен фактор. Лазерите с къси импулси могат да доставят голямо количество енергия за много кратко време. Това може да бъде много ефективно за де-калъп, тъй като позволява бързо нагряване и аблация на материала. От друга страна, дългитепулсните лазери могат да бъдат по-подходящи за някои материали, които изискват по-постепенен процес на отопление.
Също така трябва да разгледаме качеството на лъча на лазера. Висококачественият лазерен лъч с малък размер на петното може да осигури по-прецизно де-калъп. Това е особено важно, когато работим върху малки полупроводникови устройства или когато трябва да имаме достъп до конкретни области на устройството.
В заключение, дължината на вълната на лазера в лазерна DE-CAP машина оказва значително влияние върху процеса на дефиниране. Различните дължини на вълната взаимодействат с материали по различни начини и трябва да изберем правилната дължина на вълната въз основа на вида на материала за капсулиране и структурата на полупроводниковото устройство. В нашата компания ние се ангажираме да предоставим на нашите клиенти най-добрите лазерни машини и решения за DE-CAP. Ако сте на пазара за лазерна машина за де-капачка или имате въпроси относно процеса на деконтиране, не се колебайте да се свържете с нас. Ще се радваме да ви помогнем да намерите идеалното решение за вашите нужди.
ЛИТЕРАТУРА
- „Анализ на полупроводниковите неуспехи: Практическо ръководство“ от Джон К. Макферсън
- „Лазерна обработка на материали“ от Питър К. Хопкинс